超纯水又称UP水，是指电阻率达到18 MΩ*cm(25℃)的水。这种水中除了水分子外，几乎没有什么杂质，更没有细菌、病毒、含氯二噁英等有机物，当然也没有人体所需的矿物质微量元素，也就是几乎去除氧和氢以外所有原子的水。可以用于超纯材料(半导体原件材料、纳米精细陶瓷材料等)应用蒸馏、去离子化、反渗透技术或其它适当的超临界精细技术的制备过程。

　　超纯水检测范围

　　电子级超纯水，工业超纯水，医用超纯水等。

　　超纯水检测项目

　　微粒子检测，电阻率检测，微生物检测，水质检测，标准离子含量，余氯检测，二氧化硅检测，微量元素检测，吸光度检测，细菌总数检测，硬度检测。

　　超纯水检测标准

　　1ASTM D4453-2011超纯水试样处理规程

　　2ASTM D5127-2007电子和半导体工业用超纯水的指南

　　3ASTM D7980-2015对半导体工业中超纯水瞬时样品阴离子进行离子色谱分析的指南

　　4JIS K0550-1994超纯水中细菌数的试验方法

　　5JIS K0551-1994超纯水中总有机炭(TOC)的试验方法

　　6JIS K0552-1994超纯水中电导率的试验方法

　　7JIS K0553-2002超纯水中金属元素的试验方法

　　8JIS K0554-1995超纯水中微粒子测定方法

　　9JIS K0555-1995超纯水中二氧化硅的试验方法

　　10JIS K0556-1995超纯水中阴离子的试验方法